第229章 步进式光刻机成功！ (第1/2页)

沈永健屏住呼吸，手中动作愈发沉稳。
　　
　　特制的光学镜头被精密夹具悬吊，他不断调整着微米级的定位螺杆，直至镜筒与基座接口纹丝咬合。
　　
　　“咔哒~！”
　　
　　一声低低的脆响在此刻穿透车间。
　　
　　物镜严丝合缝地嵌入光刻机主体。
　　
　　“成了！？”
　　
　　刘师傅干哑的嗓子喃喃自语道，带着污渍的手在工装裤上狠狠攥紧。
　　
　　卓邵文蜡黄的脸上双眼血丝依旧，自从负责光刻机后，对方一样是这次项目研制中，投入精力最多工作时间最长的一位。
　　
　　此刻目光紧盯着才组装完成的步进式光刻机，心中既兴奋又紧张。
　　
　　余下众人站在数米开外，此刻同样兴奋。
　　
　　沈永健当下并未着急，而是环顾这台大家伙周身，又细细检查了一圈。
　　
　　这才在众人的注视下，按下了总控开关。
　　
　　“嗡——！”
　　
　　低沉的共振声从机箱深处传来。
　　
　　汞灯的冷光霎时亮起，透过崭新的物镜在硅片承载台上投下一圈光斑。
　　
　　氮气吹管嘶嘶低鸣，冷却水循环系统平稳运行。
　　
　　步进电机发出精准的“嗒嗒”声，工作台沿导轨滑出流畅的直线，控制面板的指示灯不断闪烁后，最终平稳下来。
　　
　　“邵文同志，先进行投影分辨率测试。”
　　
　　沈永健沉稳地发出指挥，卓邵文立刻到操作台前，将校准掩膜版推入光路中。
　　
　　下一刻汞灯亮度瞬间提了好几度，经过多层透镜组的聚焦，最终在投影屏上炸开一道深紫色的光锥。
　　
　　而显微镜的目镜之中，0.5微米的测试线条纤毫笔直，边缘锐利。
　　
　　显然，北春光电所的物镜完美达标，且这一路运来也未让这物镜有任何的磕碰偏差。
　　
　　“投影分辨率测试通过！”
　　
　　第一项最重要的测试通过，在场众人都悄然松了口气。
　　
　　刘师傅更是咧嘴笑了起来，露出长期抽烟的黄牙，沙哑低语道。
　　
　　“我就猜能过！”
　　
　　“这台可比咱们原先的机子亮堂多了！这光刺得我眼睛都睁不开！这要是都不通过都没天理了！”
　　
　　闻言，其余同志也跟着附和起来。
　　
　　沉闷凝重的场面一时间愈发缓和。
　　
　　“下一项套刻精度测试。”
　　
　　“这测试我们轮流来吧，曹文三你今晚先顶上，邵文同志，曲嵩，张伟森，顾江河你们按次序排，直到测试完成。”
　　
　　套刻精度测试也是光刻机极为重要的一项测试。
　　
　　不过其测试并非孤立，更像是机器启用前的一整套初始误差建模与补偿模型组建。
　　
　　相当于将整个曝光场的一整套序列曝光，提前检测出实际的误差，这些测试的误差数据会由计算机计算后生成第一版标准误差补偿参数环境。
　　
　　与炮弹实际发射的“修正本”有着异曲同工之妙。
　　
　　只是这项工作可不是当天便能完成的，需要四五天的时间，众人接力轮流完成。
　　
　　“沈工！没问题！”
　　
　　…
　　
　　“吴姐还有克勤同志，咱们趁着这几天抓抓紧，将最后的版图验证完成。”
　　
　　“争取在这台步进式光刻机测试完成后，开启第一次的流片工作。”
　　
　　到了集成电路，虽然工艺思路上还是‘平面工艺’那套，但实际的工艺和流程会复杂太多。
　　
　　

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